【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット
■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、
さまざまな装置レイアウトに対応
■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。
■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と
スループット向上が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』
【仕様】
■動作範囲
・X1, X2-axis（前後）：590mm
・θ-axis（旋回）：332°
・Z-axis（昇降）：310-703.8mm
・Y-axis（左右）：±767.5mm
・A-axis（左右の傾き補正）：±2°
■最大動作速度
・X1, X2-axis：1600mm/sec
・θ-axis：540°/sec
・Z-axis：1500mm/sec
・Y-axis：1500mm/sec
■繰返し位置精度
・XθY directions（composite）: ±0.1mm
・ Z direction: ±0.1mm
■可搬質量：0.5kg/arm (Including E/E, E/E-base, Wafer）
■本体質量：74kg
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|---|---|
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カタログ大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』
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