【~300mmウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能! 保護等級IP64を実現した防滴モデルのウエハ搬送ロボット
■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。
■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
【仕様】
■動作範囲
・X, A-axis:500mm
・θ-axis:340°
・Z-axis:300mm
・R-axis:180°
■最大動作速度
・X, A-axis:800mm/sec
・θ-axis:130°/sec
・Z-axis:200mm/sec
・R-axis:150°/sec
■繰返し位置精度:
・XYZ方向 各±0.1mm
・R方向 ±0.5°
■可搬重量:1.5kg/arm(Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量:40kg
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
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カタログ大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
取扱企業大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』
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