真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』ダイヘン

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！装置スループットの大幅な向上を実現、高速・低振動ダブルアーム真空ロボット

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現

■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減

■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上

■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止

■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き

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基本情報真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【仕様】
■動作範囲
・X1, X2-axis：620mm
・θ-axis：346°
・Z-axis：50mm
■最大動作速度
・X1, X2-axis：380°/sec
・θ-axis：300°/sec
・Z-axis：185mm/sec
■繰返し位置精度
・XYZ direction ±0.1mm each
■可搬質量：2.0kg (Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量：160kg
■設置環境
・温度　5-40℃(本体)/5-80℃(アーム)
・湿度　20-70%, No condensation
・圧力　Atmospheric pressure ～ 10-6Pa

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取扱企業真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

株式会社ダイヘン

各種電力機器、溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源等の製造・販売・修理 ■主な営業品目 [電力機器] 変圧器/開閉器/受変電設備/配電自動化機器/監視制御システム/電力用ヒューズ/パワーコンディショナ/再エネ発電システム/蓄電池システム/V2Xシステム/EV充電システム(普通充電器･急速充電器･ワイヤレス充電システム) [溶接･接合機器、ＦＡロボット] 各種産業用ロボット/溶接機・切断機/EV軽量化対応接合システム [半導体関連機器] プラズマ発生用電源・自動整合器/ウエハ搬送ロボット