【~300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載! 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、
超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。
■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能
■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現
■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現
■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』
■動作範囲
・X-axis 850mm
・θ-axis Endless
・Z-axis -
■動作時間
・X-axis 2.0sec / 850mm
・θ-axis 2.5sec / 180°
・Z-axis -
■繰返し位置精度
・XY direction φ0.02mm(3σ)
・Z direction -
■可搬質量:1.0kg (Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量:29kg
■設置環境
・温度 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム)
・湿度 20-70%, No condensation
・圧力 Atmospheric pressure ~ 10-7Pa
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カタログ真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』
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