【~300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット!
■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット
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基本情報真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』
【仕様】
■動作範囲
・X-axis:750mm
・θ-axis:340°
・Z-axis: 22mm
■最大動作速度
・X-axis: 62°/sec
・θ-axis:192°/sec
・Z-axis:121mm/sec
■繰返し位置精度:XYZ direction ±0.1mm each
■可搬重量:4kg(Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量:44kg
■設置環境
・温度 10-40℃ (Atmosphere side) /
0-80℃ (Vacuum Seal Unit)
・湿度 20-70%, No condensation
・圧力 Atmospheric pressure ~ 10-6Pa
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい |
取扱企業真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』
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