【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット
■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで
スループット向上に貢献
■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応
■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応
■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
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基本情報真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』
【仕様】
■動作範囲
・X1,X2-axis：670mm
・θ-axis：330°
・Z-axis：50mm
■最大動作速度
・X1,X2-axis：120°/sec
・θ-axis：100°/sec
・Z-axis：25mm/sec
■可搬重量：2kg（Including E/E, E/E-base, Wafer）
■本体質量：85kg
■設置環境
・温度 15-40℃ (Atmosphere side)
0-80℃ (Vacuum Seal Unit)
・湿度 20-70%, No condensation
・圧力 Atmospheric pressure ～ 10-6Pa
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カタログ真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』
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