【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。
Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
【仕様】
■動作範囲
・X-axis：720mm
・θ-axis：340°
・Z-axis：20mm
■最大動作速度
・X-axis：250°/sec
・θ-axis：220°/sec
・Z-axis：121mm/sec
■繰返し位置精度：XYZ direction ±0.1mm each
■可搬質量：0.7kg (Including E/E, E/E-base, Wafer)
■本体質量：35kg
■設置環境
・温度 10-40℃ (Atmosphere side) /
0-80℃ (Vacuum Seal Unit)
・湿度 20-70%, No condensation
・圧力 Atmospheric pressure ～ 10-6Pa
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| UT-VFX3000NM | 分類：Standard Type |
| UT-VFX3010NM | 分類：Long Arm Type |
カタログ真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
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