株式会社DINOVAC 立体物対応実験用プラズマCVD装置
- 最終更新日：2023-03-20 14:57:58.0
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対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃）
当社で取り扱う『立体物対応実験用プラズマCVD装置』をご紹介いたします。
立体物に成膜可能で、対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。
PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギングが可能です。
当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて
装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置
■対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等
■基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃）
■PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギング
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報立体物対応実験用プラズマCVD装置
【仕様（抜粋）】
■チャンバー材質：ステンレス製
■到達真空度：1Pa以下
■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ
■排気圧力コントロール：手動（オプションで自動可）
■成膜対象物：最大Φ100mm×500mm
■高周波出力：最大1kW
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ立体物対応実験用プラズマCVD装置
取扱企業立体物対応実験用プラズマCVD装置
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■真空装置の設計、製造、販売 ■真空部品の設計、製造、販売 ■大気圧プロセス装置の設計、製造、販売 ■大気圧プロセス関連機器の設計、製造、販売 ■真空装置および大気圧プロセス装置の保守、修理、改造、移設
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