優れた機械的耐久性！幅広く使える金属製のプレート型高温ヒータ
『プレートヒータ』は、金属製の熱板にサーモコアックス社製のシースヒータ
を埋め込み、最高800℃まで昇温を可能にした製品です。
加熱がステンレス、インコネル、アルミ等のプレート上で行われるため、
石英ガラスやカーボンを使用したヒータと比べて加熱時に圧力を加える
などの耐久性を要するシーンに好適。
また、熱板内部に埋め込まれたヒータ線と電源を接続する電極部は、
大気中で使用できるよう絶縁されたスリーブ端子のモデルや、
真空チャンバー内向けのCP端子モデルなど、ご使用環境に合わせた
バリエーションをご用意しています。
【特長】
■優れた機械的耐久性
■柔軟な設計に対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報プレートヒータ
【仕様】
■最高使用温度：真空中700℃／その他800℃
■加熱有効エリア：Φ50～Φ220mm（それ以上の場合もご相談ください）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■薄膜装置（CVD／スパッタリング）への組み込み ■半導体製造装置（基板加熱／フラッシュアニールなど）への組み込み ■その他多目的に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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