排ガス除害・屋内タイプ大流量ウェットスクラバー　EXシリーズ東設

バブリング・スプレー方式で国内外で1000台以上の納入実績あり！信頼性の高い室内設置の大容量除害スクラバーです。

国内外で1000台以上の納入実績あり！！東設は屋内タイプ大流量スクラバーにおいては信頼性の高い最有力なメーカーです。

■特徴１：最大流量60m3/min
20m3/min以上の室内使用の大型SCRの納入実績：約100台以上。

■特徴２：耐食性ファンによる腐食防止
特にファンインペラー部にはガスのシールと腐食防止対策。

■特徴３：セントラルスクラバーの引き圧カバー
ファンの使用によりセントラルスクラバーに引き圧が低い場合でも使用可能。

■特徴４：ガス種により材質変更可能
有機系のガスにはSUS、無機系のガスにはPVCを使用。

関連リンク - https://www.tosetz.com/scrubber

基本情報排ガス除害・屋内タイプ大流量ウェットスクラバー　EXシリーズ

従来のバブリング・シャワータイプで、小～大流量ガス除害(最大~60m3/min)に最適です。対象ガスはCl2, HF, HCl, HNO3, NH4, CVD燃焼排ガス, 有機・無機系ガスでNaOH薬液供給も可能です。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	EXシリーズ
用途／実績例	■用途：・ウェット洗浄装置、ウェットエッチング装置、燃焼除害装置の後段、CVD、エピタキシャル成長、シリンダーキャビネットの装置から出るガス除害。緊急除害装置としても使用可能・最大ガス流量：~60m3/min ■対象ガス： Cl2、HF、HCl、HNO3、NH4、CVD燃焼排ガス、有機・無機系ガス

取扱企業排ガス除害・屋内タイプ大流量ウェットスクラバー　EXシリーズ

株式会社東設本社ヘッドオフィス

■半導体・液晶・太陽電池・HDD・その他電子デバイス製造向けめっき装置、排ガス除害装置(スクラバー)、ウェット処理装置、脱気システムの設計・製造・販売・サービスをご提供しています。 ■上記ウェットプロセス装置の設計開発、製造販売だけでなく、生産側で実際に問題に直面した経験を有する各プロセスのスペシャリストによるプロセスサポート&コンサルティング、めっき&表面処理受託、実験、デモサービス、お客様既存設備の保守改造サービスをご提供しています。