カーボンコーターＶＣ－３００真空デバイス

ＥＤＳ（ＥＤＸ）・ＥＰＭＡ・ＸＭＡ用導電処理・ＦＩＢ用保護膜作成・カーボン補強などが可能です。

VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火傷する心配はありません。
省スペース、低価格を実現。

関連リンク - https://www.shinkuu.co.jp/vacuum-vapor-deposition-…

基本情報カーボンコーターＶＣ－３００

 試料室サイズ＝内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。
 試料台サイズ＝直径100mm、蒸発源に対し30mm上下可能。
 蒸発源と試料台の間隔＝45mm～75mm間に任意調節可能。
 蒸着電源＝OUTGAS、EVAPOの２段階、最適電圧にプリセット。
 ロータリポンプ＝50 ℓ/min。 RP単体到達真空度１．０Pa。
 装置到達真空度＝2Pa(1.5×10-2Torr)以下。
 真空度監視＝ピラニゲージにて0.1Pa(7.5×10-4Torr)まで指示。
 装置サイズ＝幅255mm×奥行き375mm×高さ430mm。
 ロータリポンプ床置き型。（ＳＵＳ製フレキシブルホース１ｍ付属）
 電源＝単層AC100V,15A アース線付３芯プラグ使用。
 安全対策：電極通電を真空排気中のみに制限、系統別サーキットプロテクタ。

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価格帯	100万円 ~ 500万円
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型番・ブランド名	ＶＣ－３００
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