ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg
『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の
ウェーハ搬送ロボットです。
前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で
ウエハの大気中搬送に対応。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
【製品概要(抜粋)】
■設置環境：クリーンルーム内(大気中温度10～35度、湿度70％RH以下)
■アーム：シングルアーム(材質：アルミ・CFRP・セラミック)
■可搬質量：3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』
【標準仕様(抜粋)】
■被搬送物：～300mmウェーハ(その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応いたします)
■ウェーハ保持方式：真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド
■機械構造形式：水平多関節型・円筒座標系
■制御軸：4軸
■モータタイプ：ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ仕様
■重量
・本体重量：約47kg
・コントローラ：約5kg
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|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』
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