5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン付
『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。
カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため
カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。
ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの
ローディングエラーを検知します。
【特長】
■省スペース
■静電気対策型
■光および機械センサーでエラーを監視
■マッピングセンサー付き
■FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応
■クラス10クリーンルーム対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウェーハ搬送装置『PWT2020』
【導入事例】
■簡易的にウェーハを搬送したい
■カセット内ワークの擦れを抑えたい
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■装置メーカーが使用するケース ・デバイスメーカーから評価用のウェーハがFOSB(出荷用ケース)で支給される ・装置メーカーのシステムに使うキャリア(例えばFOUP)への移載を行う ・評価後のウェーハをFOSBに移載する(デバイスメーカーへ返却) ■ウェーハメーカーが使用するケース ・完成ウェーハ(最終洗浄・検査完了後)をFOSB(出荷ケース)に移載する ・プロセス(洗浄工程等)間で、PFAキャリア(洗浄用キャリア)に移し替える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログウェーハ搬送装置『PWT2020』
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