オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を行うシステム
本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2の
キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。
ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。
【各部仕様(抜粋)】
■ステージ1(ローダー)
・装置正面左側ステージ
・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)
FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)
・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報石英ガラスウエハ移載装置
【その他各部仕様(抜粋)】
■ステージ2(アンローダー)
・装置正面右側ステージ
・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)
FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)
・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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