クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。
【特長】
■アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
■様々なバリエーション、カスタム対応
■200mm/300mm兼用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報EFEM・ソータ『TYK2102-2』
【製品概要(抜粋)】
■搬送対象：300mmウェーハ(径：φ300±0.2mm、厚み：775μm)
■キャリア
・300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)
・300mm FOSB 25段(SEMI M31)
■電源電圧：単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
■消費電流：4kVA(20A/200VAC)FFUを含む
■真空(元圧)：-80kPa～-90kPa
■真空(流量)：40L/min、50L/min
■正圧(元圧)：0.6MPa～0.7MPa
■正圧(流量)：20L/min、30L/min
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログEFEM・ソータ『TYK2102-2』
取扱企業EFEM・ソータ『TYK2102-2』
EFEM・ソータ『TYK2102-2』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
