PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット (25枚入) の上段～又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。OHT搬送に対応しております。
基本情報ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）
■特徴
・独自の制御によるスライド機構。
・困難だったウェーハー剥離後の洗浄を自動化。
・ワイヤーソーで切断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自動でおこないます。
・低ランニングコストを実現。
・ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。
・オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。
・オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【導入事例】 ■手動での剥離自動化 ■ウェーハの情報管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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