高純度スパッタリングターゲット　PRAXAIR製ウエキコーポレーション

PRAXAIR社製スパッタリングターゲットの国内総代理店として日本各地に広がったネットワークでお客様の物づくりをサポート致します

高品質を目指して
PRAXAIRは広範囲な研究開発、および最高品質のスパッタリングターゲットの製造を通じて、大手サプライヤーとしての評価を得ています。

AdvanTageタンタルターゲット
AdvanTageタンタルターゲットは一貫した再現可能なプロセス性能を提供します。
厚さの均一性と量産品質による再現性のあるスパッタリング成膜を実現します。高い製造技術により、均一な微細構造が生成され、初期の安定性が向上し、寿命全般にわたって一貫したスパッタ性能が得られます。

各スパッタリング装置メーカーの認定品もございます。

基本情報高純度スパッタリングターゲット　PRAXAIR製

主な材料・仕様
Cu : 5N, 6N
Ta : 3N5, 4N5
Pure Al : 5N, 5N5
W : 5N
Carbon : 5N
Al alloy (AlSi 1%, AlSi 1% Cu 0.5%, AlCu 0.5%) : 5N5
Ti : 4N5, 5N
Ni : 4N
Ni/V : 3N5
Cr : 3N5
Co : 5N
Ni/Pt : 3N5
Pt : 4N
Ag : 5N
Au : 5N