オリンパスの近赤外顕微分光測定機USPM-RU-Wは、可視光領域から近赤外領域までの幅広い分光測定を、スピーディー高精度に行います。
通常の分光光度計では測定できない微小エリアや、曲面の反射率の測定が容易にできるため、光学素子や微小電子部品などにも最適です。
基本情報工業用顕微鏡USPM-RU-W（EVIDENT）
反射率、膜厚、物体色、透過率、入射角45度の反射率といった様々な分光測定をこの1台で可能とします。
◆反射率測定
対物レンズで集光したΦ17～70μmの微小スポットの反射率を高速・高精度に測定するため、微細な電子部品やレンズなどの曲面測定に最適です。
回転ステージを使用すると、レンズ周辺部の反射率測定も簡単にできます。
◆膜厚測定
反射率データを活用して、約50nm～約10μmの単層膜、多層膜の膜厚測定を行います。
◆物体色測定
反射率データからXY色度図、L*a*b*色度図、および関連する数値を表示します。
◆透過率測定（オプション）
ステージ下部からΦ2mmの平行光を透過させることで、平面サンプルの透過率を測定します。偏光素子ユニットをつけるとP偏光・S偏光測定にも対応します。
◆入射角45度の反射率測定（オプション）
Φ2mmの平行光を、側面から45度面に反射させ、反射率を測定します。
偏光素子ユニットをつけるとP偏光・S偏光測定にも対応します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | お気軽にお問合せくださいませ。 |
詳細情報工業用顕微鏡USPM-RU-W（EVIDENT）
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曲面・微小エリアの高速・高精度測定を実現
◆高速測定を実現
フラットフィールドグレーティング及びライセンサを用いた全波長同時分光測定により、高速測定を実現します。
◆微細部品・レンズの反射率測定に最適
Φ17～70μmの測定エリアで非接触測定を可能にする専用対物レンズを新たに設計しました。通常の分光光度計では測定できない、微細な電子部品やレンズなどの曲面でも、再現性の高い測定を実現します。
◆反射率測定時の裏面反射防止処理は不要
専用対物レンズと輪帯証明の組み合わせにより、被見物裏面の反射防止処理を行わずに最薄0.2mmの反射率を測定します。
◆選べる膜厚測定方法
選定された分光反射率データから炭素膜や多層膜の膜厚解析を行います。
用途に応じて最適な測定法を選択できます。
◆ピークバレー法
測定された分光反射値のピーク及びバレーの周期性から膜厚を算出する方法で、単層膜測定に有効です。
複雑な設定が不要のため、簡単に求めることができます。
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多様化する測定ニーズに高速・高精度にお応えします。
◆球面・非球面のレンズ、フィルター、ミラーなどの光学素子の反射率測定によるコーティング評価、物体色測定、膜厚測定に。
デジタルカメラレンズ・プロジェクトレンズ・ピックアップレンズ・メガネレンズ
◆LEDリフレクタ、半導体基板などの微小電子部品の反射率測定、膜厚測定に。
LEDパッケージ・半導体基板
◆平面光学素子、カラーフィルタ、光学フィルムなどの反射率測定、膜厚測定、透過率測定に。
液晶カラーフィルタ・光学フィルム
◆プリズムやミラーなどの45度入射による反射率測定に。
プリズム・ミラー
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