薬液・超純水計測に適応した、接液部構造！薬液・洗浄水などの計測の用途事例
薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の
用途事例をご紹介します。
薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、
ライン圧監視などを実行。
洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を
支えます。
【ウェットプロセス圧力計測分野】
■超純水・高機能水
■フッ酸・塩酸
■スラリー
■レジスト液
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基本情報半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜薬液・超純水＞
【圧力計測機器】
■超純水計測用「KL91」
■薬液計測用「KL92・KL95」
■高耐食用「SL85」
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取扱企業半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜薬液・超純水＞
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