300mm チャージアップモニタウェハ『PT013』フィルテック

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップによるダメージ評価が可能

当社は先進の半導体技術を背景に、テストウェハのソリューションを提供し、お客様の装置・材料・プロセスの評価・開発を総合的にサポートしております。

チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは
12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。
ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能となります。
ウエハサイズは300mm、200mm、チップ測定に対応しており、
お客様の設備でプラズマ処理を行ったウエハを測定し、
I/Vカーブ、Vbdマップのデータをご提供しております。

また、TDDB（Qbd）測定サービスも可能です。

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.philtech.co.jp/index.html

基本情報300mm チャージアップモニタウェハ『PT013』

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価格帯	お問い合わせください
納期	~ 1ヶ月 ※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	日本国内・海外の半導体装置メーカー様でご活用頂いております。