ウエハーセンス(WaferSense)（サイバーオプティクス（CyberOptic） 社）はプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウエハー、さまざまな装置のレベル出しに使う水準測定ウエハー、振動用測定ウエハー、装置内部のパーティクルをモニタリングするパーティクル測定ウエハーの5種類があります。付属のソフトウェアを使って、センサーとの交信をワイヤレスに行う事が可能となり、リアルタイムなLOGデータの取得とフィードバックが出来ます。ウエハセンスを使う事で装置パラメータの標準化や比較、解析にも役立ちます。
基本情報ウエハーセンス サイバーオプティクス製 製造装置改善用測定センサ
◆オートレベルシステム2（ALS2）
リアルタイムの振動とレベリングを高速化測定。
装置の検証を 迅速に行ない、装置の稼働率を向上
◆オートティーチングシステム(ATS2)
ウエハと同じように配置され、ウエハーの位置座標データ(XYZ)を高精度に測定します。
◆オートギャップ測定システム（AGS）
PECVDやドライエッチング、スパッタリング装置などの半導体プロセスチャンバーに使える真空互換性のある非接触ギャップ測定による平行性調整を実現
◆オート振動システム(AVS)
プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を測定する事ができます。
◆気中パーティクルセンサ（APS）
0.14umからの気中パーティクルを迅速に見つけることにより、半導体プロセス装置や自動搬送システムのトラブルシューティングを効率よく行います。
装置を開けずに内部の清浄度をリアルタイムに検証できるので、プロセス環境をメンテ環境に露出しないで済みます。
◆オートマルチセンサー (AMS)
振動とレベル、そして湿度を１つのパッケージに合体したマルチセンサーでスピーディな調整を実現
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | CyberOptics WaferSense ReticleSense |
| 用途／実績例 | 半導体プロセス装置内のウエハの位置決め、レベル出し、スペーシング調整、 加速度＆振動、パーティクルの測定に使用されています。 真空中で使用可能 リアルタイムでデータ取得可能 各種データが数値化されログの取得が可能 |
取扱企業ウエハーセンス サイバーオプティクス製 製造装置改善用測定センサ
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