超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」神津精機

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。

従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。
【特長】
■6軸駆動でも低床を維持。
■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。
■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし）
■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等
■テーブルに大口径透過穴を搭載。
■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。
■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。

基本情報超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

【仕様】
■RSTZ-003
テーブルサイズ：Φ500mm
透過穴：Φ250mm
耐荷重：300kgf（均等荷重時）
モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター）
駆動ユニット分解能：0.02μm
軸方向最大ストローク※：X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm
　θz軸±4.7°、θx軸±2.3°、θy軸±2.7°
■RSTZ-004
テーブルサイズ：Φ350mm
透過穴：Φ140mm
耐荷重：120kgf（均等荷重時）
モータ型式： PK513-H100S（オリエンタルモーター）
駆動ユニット分解能：0.02μm
軸方向最大ストローク※：X軸±9mm、Y軸±10.3mm、Z軸±4.5mm
θz軸±4.3°、θx軸±2.1°、θy軸±2.4°
※複数軸方向に移動させる際は上記ストロークより範囲がせまくなります。
　　

価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス