スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部 高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta
- 最終更新日:2024-03-06 12:14:40.0
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あらゆる単結晶に対応 Flagship X-ray Orientation
●わずか10秒の高速測定
●高精度測定<0.003°/<0.03°(1σ)
●試料水平型ゴニオメーター搭載
●結晶方位・Φスキャン・ロッキングカーブ測定
●モノクロメーター等の拡張光学系オプション
●ウェハー方位チェック及びマッピング
基本情報高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta
単結晶用X線結晶方位測定装置
価格情報 | お問合せください。 |
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価格帯 | 5000万円 ~ 1億円 |
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 半導体 結晶方位測定 対象原料 Si,Ge,SiC,GaN,AIN,GaAS,Qartz等 |
カタログ高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta
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