スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部 高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta

あらゆる単結晶に対応 Flagship X-ray Orientation

●わずか10秒の高速測定
●高精度測定<0.003°/<0.03°(1σ)
●試料水平型ゴニオメーター搭載
●結晶方位・Φスキャン・ロッキングカーブ測定
●モノクロメーター等の拡張光学系オプション
●ウェハー方位チェック及びマッピング

基本情報高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta

単結晶用X線結晶方位測定装置

価格情報 お問合せください。
価格帯 5000万円 ~ 1億円
納期 お問い合わせください
用途/実績例 半導体 結晶方位測定
対象原料
Si,Ge,SiC,GaN,AIN,GaAS,Qartz等

カタログ高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta

取扱企業高精度・高速X線結晶方位測定装置 Omega-Theta

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スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部

東京と神戸を拠点に国内計6ヶ所の営業所、2ヶ所のアプリケーションラボラトリにて、粒子計測・X線分析装置の販売やサービス、サポート業務をはじめ、各種セミナーなどのイベントも行っています。

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