株式会社インターテック販売 全自動RTP(高速熱処理)装置
- 最終更新日:2024-04-25 15:34:21.0
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4~8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。
ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。
熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。
温度測定範囲は20℃~1250℃となります。熱電対とパイロメータがリアルタイムの温度測定をし、その結果をスマートPIDおよびマルチゾーンSCRが制御することで、優れた温度コントロールを可能にします。
真空チャンバ内には酸素濃度モニターを搭載し、酸素フリーな環境維持をサポートします。
Windowsベースのソフトウェアはマルチリンガル対応。グラフィカルなユーザーインターフェースで直観的な操作を可能としています。
累積出荷台数500台以上の実績で得られたプロセスプロファイリングのノウハウと、常時5台用意されたデモ環境で、貴社のプロセス開発における課題解決のお手伝いを致します。
基本情報全自動RTP(高速熱処理)装置
【仕様】
■ 温度制御範囲:200~1250℃
■ 温度制御方式:マルチPIDコントロール
■ 面内温度均一性:≦±3%(600℃以下)、≦±1.5%(600℃以上)
■ 面内抵抗値均一性:面内抵抗値均一性
■ 真空:〇
■ ウエハ寸法:6~8
■ 加熱ランプ:タングステン・ハロゲンランプ
■ ウエハ搬送:フルオート(5軸ロボット)
■ プロセスガス系統数:4
■ ウエハ位置合わせ:センタリング、OCR、アライナー(Op)
■ 昇温レート:25℃/秒(サセプタ使用時)
■ サセプタ:SiCコーティングカーボン
■ 装置外形寸法:D:1580 W:1500 H:1800mm
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※十ヶ月 (仕様によって納期が変動致しますので、お気軽にお問い合わせください。) |
型番・ブランド名 | Premtek RTP-1200Aシリーズ |
用途/実績例 | ■ アプリケーション ・インプラ後のアニーリング ・ドーパント活性化 ・金属膜コンタクトアニーリング ・シリサイド形成(チタン、コバルト、ニッケル、白金など) ・ソース/ドレインアニーリング |
カタログ全自動RTP(高速熱処理)装置
取扱企業全自動RTP(高速熱処理)装置
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