一括露光機インターテック販売 | イプロスものづくり

ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット。IR(近赤外線)仕様も実績あり。

マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。
本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。
経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。

【装置改造】
■ 中古装置リファービッシュ販売
■ 基盤サイズ変更
■ チャンバー冷媒改造
■ ミラー再生

【部品販売】

【引取オーバーホール】

【定期メンテナンス】

【移設業務】
■ 構内移設
■ 工場移設

【トラブル対応】

関連リンク - https://www.itcjs.com/products/?id=1666930479-2986…

基本情報一括露光機

【仕様】
■ MPA600FA 　
4”　〇
5”　〇
6”　〇
変形　〇
解像度　1.5μm
焦点深度　±6μm以上

■ MPA600Super
4”　〇
5”　〇
6”　〇
変形　〇
解像度　1.5μm
焦点深度　±6μm以上
TVNA　〇

更に、弊社グループ開発品の裏面露光ユニット（IRAS）を搭載することで、裏面露光が可能になります。
もちろん、お客様保有のMPAへの後付けも可能です。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※3ヶ月（仕様によって納期が変動致しますので、お気軽にお問い合わせください。）
型番・ブランド名	CANON　MPA500、600シリーズ/PLA500、600シリーズ
用途／実績例	※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。