Siconnex Japan合同会社 全自動装置 BATCHSPRAY Acid Autoload
- 最終更新日:2024-05-24 17:03:45.0
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BATCHSPRAY技術に100%フォーカス!水・排気・化学品を大幅に削減【半導体業界向け湿式化学装置】
この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。
高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出(EPD)、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。さらに、SicOzoneレジストストリップを同じチャンバーに適用でき、これにより柔軟性が向上するだけでなく、処理ステップを減らすこともできます。
【特長】
■最大300wphのスループット
■2つのプロセスチャンバー
■ばらつきが1%未満の均一性
■設置面積12m2未満
■タンクシステムによる化学物質の再循環
■sic/GaNでプロセス実行可能
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基本情報全自動装置 BATCHSPRAY Acid Autoload
【取扱製品】
■BATCHSPRAY Clean Autoload
■BATCHSPRAY Acid Autoload
■BATCHSPRAY Solvent Autoload
■BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload
■BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload
■BATCHSPRAY Acid
■BATCHSPRAY Solvent
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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