ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。
抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
基本情報ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】
【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】
◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式
◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません
◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能
◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能
◆ＰＮ判定可能な抵抗率範囲：0.1〜1,000Ω/cm
（ただし、ウエハの表面状態による）
◆自動ウエハ搬送装置に組み込み使用が可能（ＰＮ-80α）
●対象ウエハサイズ：2インチ〜12インチまで対応（厚さ3mm程度）
（※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ＰＮ-50α |
| 用途／実績例 | シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー、バルク） |
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