抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】ナプソン

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。
抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。

その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。

基本情報抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】

【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】

◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ
◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能
◆ガラスマップ（サーチ）機能
◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア

●対象ガラス基板サイズ：MAX 1,500mm×1,850mm
　　　（2,100mm×2,400mm程度まで対応可能）

（※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	RT-3000/RG-1000F
用途／実績例	TFT、EL(OLED)、CFなどのITO膜、各種メタル膜、n+a-Si膜など