枚葉式ＩＲ炉光洋サーモシステム

基本情報枚葉式ＩＲ炉

枚葉式のＩＲ炉です

【特長】
◆ハイレベルなクリーン度
自己発塵の無いクリーンな構造により、高いクリーン性能を持っております。またシビアなクリーン環境を求められるアレイ基板の処理にも対応可能です。
◆高い加熱効率
加熱効率に優れた、遠赤外線（ＩＲ）加熱方式を採用しており、あらゆる膜厚に対し高効率な処理が可能です。配向膜やパッシベーション膜など厚い膜の処理に最適です。
◆優れた温度均一性
温度均一性にすぐれたＩＲパネルヒータを採用。第１０世代などの大型基板に対しても、均一な加熱を行うことができます。
◆雰囲気処理が可能
炉内に窒素ガスを導入し低酸素濃度での加熱処理が可能です。

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型番・ブランド名	枚葉式ＩＲ炉
用途／実績例	◆配向膜の焼成 ◆アニール ◆パッシベーション膜の焼成 ◆シール本硬化／仮硬化

カタログ枚葉式ＩＲ炉

ＩＲ炉

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取扱企業枚葉式ＩＲ炉

光洋サーモシステム株式会社営業管理部

当社は1958年、光洋精工株式会社『現(株)ジェイテクト』リンドバーグ事業部として発足し、翌年バッチ型浸炭炉の国産第１号を開発。 1967年分離独立、新会社設立とともにヒートテクノロジー分野一筋に邁進してきました。電子部品分野をはじめ半導体製造装置、実験開発機器、金属熱処理装置など、ヒートテクノロジーの総合メーカとして豊かな技術と創造力で次世代のリーダとして躍進します。