！！傾斜角が小さく多探針用に有利な先端形状！！
隣接するプローブが鋭角で接近した場合にプローブ同士が接触しないことに考慮した傾斜角が小さいプローブ形状を有しています。
！！サンプルとのソフトな接触が可能＊1 ！！
表面が白金イリジウムで構成されているPtIr コーティングタングステンプローブおよび、白金イリジウムプローブでは、酸化膜が表面に介在しないため、接触の際に速やかに導電性を得ることが可能であり、これによりサンプルとプローブの損傷を最小に抑えることが出来ます。
またニッケルプローブについても白金イリジウムプローブと同様に低接触抵抗で接触の際に速やかに導電性を得ることが可能です。
＊1：タングステンプローブ P-100WP を除く
基本情報プローバー用導電性ナノプローブ
マイクロおよびナノスケールでの多探針を用いたサンプル表面へのプロービングは、半導体デバイスの故障解析のための表面電気特性測定等、半導体デバイスの研究開発および生産の分野で活用されています。近年、デバイス構造の微細化に伴い、検査用プローブの先鋭化、表面酸化膜の抑制などプローブに要求される仕様も高まっています。また、このようなプローブはナノバイオ分野等など多様な分野でニーズが高まってきております。
当社はそれらのニーズに応えるため、各種用途に応じた接触検査用ナノプローブを開発いたしました。
ニッケルプローブの金、銀等のコーティングも特注にて承っております。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | P-100PtIr(P), P-100WP |
| 用途／実績例 | 低接触抵抗、マイルドな接触測定向けの測定や幅広い接触測定向け、接触抵抗を気にしない測定向けにも対応したプローブを各種ご用意いたしております。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| P-100PtIr(P) | 【白金イリジウムプローブ】 低接触抵抗、幅広い接触測定向け 針先形状: 円錐形 線径: 0.5 mm dia. 先端曲率半径: 20 nm 以下 多結晶白金イリジウム |
| P-100WP | 接触抵抗の影響が少ない測定向け 針先形状: 0.25 mm dia. 35 nm以下 多結晶タングステン |
取扱企業プローバー用導電性ナノプローブ
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1970年代ユニソクは最も高速性能(dead time:1msec)のストップトフロー装置を完成。マルチチャンネル分光測定装置を国内で最初に実用化し現在ではさらに高速な反応測定を実現。1983年には大気中トンネル顕微鏡を国内初の実用し半導体素子,磁気,光ディスクの研究分野で活躍。物理,化学,生物の広い分野へと開発を続け超高真空トンネル顕微鏡,走査型近接場光学顕微鏡,超高真空原子間力顕微鏡、極低温強磁場プローブ顕微鏡等を製品化し更なる研究分野に普及。また多数の研究者との共同研究を通じて応用研究を推進しています。特に超高真空走査型トンネル顕微鏡関連の製品では、業界一位の納入実績を達成しています。 また、極限環境下(超高真空、極低温、強磁場中)で観測可能な自社製走査型プローブ顕微鏡をはじめ、SPMの応用製品として開発した4プローブ電気特性測定装置等の最新の製品群を開発し、各種の基礎研究と応用研究に役立つ研究手段を提供しております。
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