三明電子産業株式会社 簡易型UVナノインプリント装置 ImpFlex Essential

ナノインプリントリソグラフィー。徹底的なコストダウンで、低価格実現

高微細化、低コスト、高スループットを実現した
ナノインプリントリソグラフィー

【特徴】
○低残膜、膜厚均一性の高いImpFlexと共通のインプリントエンジン搭載
○徹底的なコストダウンにより低価格を実現
○バブル消去ガスプロセス対応
○多種モールドに対応可能
 モールドサイズ□10mmから最大90mmまでの転写が可能
 また、モールド材料は石英の他にオプションで
 Ni電鋳などの他の材料も使用可能
○豊富なオプションによりアップグレードが可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報簡易型UVナノインプリント装置 ImpFlex Essential

高微細化、低コスト、高スループットを実現した
ナノインプリントリソグラフィー

【特徴】
○低残膜、膜厚均一性の高いImpFlexと共通のインプリントエンジン搭載
○徹底的なコストダウンにより低価格を実現
○バブル消去ガスプロセス対応
○多種モールドに対応可能
 モールドサイズ□10mmから最大90mmまでの転写が可能
 また、モールド材料は石英の他にオプションで
 Ni電鋳などの他の材料も使用可能
○豊富なオプションによりアップグレードが可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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型番・ブランド名 ImpFlex Essential
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カタログ簡易型UVナノインプリント装置 ImpFlex Essential

取扱企業簡易型UVナノインプリント装置 ImpFlex Essential

三明電子産業株式会社

メカトロニクス制御システム・FAシステムの開発・設計・製造 モーション自動制御装置・産業機械用NC装置の開発・設計・製造 ナノ微細加工制御・研究装置の開発・設計・製造 パラレルロボット/ピッキングミニロボの開発・設計・製造 板金・塗装加工設計・製造

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