ECRアトムソースアドキャップバキュームテクノロジー

基本情報ECRアトムソース

ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成が可能です。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Atom Source Gen-2
用途／実績例	試験研究用途の製品です。酸化膜、窒化膜成膜アシスト化学的終端面の形成や酸化、還元作用の応用、基板表面での反応促進などへの応用

カタログECRアトムソース

ECRアトムソース

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取扱企業ECRアトムソース

アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

真空応用機器製作の専門メーカーです。学術研究分野に特化した真空応用機器の製作を行ないます。図面指示が不得手な方や具体的な装置構想が困難な事例でもご相談から始めます。 3次元CADによる設計支援サービスは、レビュー段階から活用され、図面だけでは理解が届きにくい事項も直感的に共有され、より迅速で正確な構想確立を加速します。具体的な装置構想が困難な事例でもご相談から始めます。オリジナル装置の製作では物理、化学、宇宙などの学域での実績が多いです。