ボールネジの位置決めで分解能10nmを制御
ストローク20-50mmでピエゾ素子を使わず10nmの分解能を実現
基本情報5nm、10nm高精度フィードバックコントローラ
独自のフィードバック制御により高精度・高速の位置決めが可能なFCシリーズにボールネジのみの位置決めで分解能10nmの制御ができるFC-500シリーズが追加されました。
その他の機能は今までのFCシリーズ（FC-301は除く）と変わりませんので使い勝手は変わらずに分解能を上げることができます。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | FC-501 |
| 用途／実績例 | 研究開発用位置決め検査装置など |
取扱企業5nm、10nm高精度フィードバックコントローラ
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