研究開発・インライン生産品質管理に!【分光エリプソメーター】
研究開発・インライン生産品質管理に!【分光エリプソメーター】 http://www.ipros.jp/data/products/tmp/297634/010/img/GES5E_R.jpg 【豊富な製品バリエーション】 ○研究開発用途 ○大型パネル自動測定 ○ロールツーロール測定 ○FTIRオプション ○光学式細孔率 ○細孔分布測定 などあらゆる製品をご提案可能 【薄膜太陽電池向け分光エリプソメーター】 ○アモルファスシリコン ○微結晶シリコン ○GIGS ○CdTe ○DSSC ○有機物等の、光学特性の測定が可能 ○ITO膜 【測定可能な物理特性】 ○膜厚と光学屈折率(n,k) ○屈折率の勾配と材料組成 【アプリケーション】 ○半導体 ○シリコン、有機、化合物半導体 ○太陽電池 ○有機EL ○LED ○ポリマー ○フラットパネルディスプレイ(FPD) ○医療、バイオ ○PETフィルム ○燃料電池 ○グラフェン 【仕様】 ○波長範囲:190nm-2400nm ○測定スピード:全波長範囲 1秒~ 【オプション】 ○FTIR ○ポロシメーター ○マイクロスポット ○コンペンセーター ○自動マッピング・ステージ ○シート抵抗 ○反射率計 ○ラマン分光 ○透過率計 日本セミラボ株式会社 新横浜本社 測定・分析 > 電子計測器 > 光学測定器 GES5Eシリーズ -
  • 薄膜光学特性を非破壊で測定! 手軽に高精度測定できる分光エリプソメトリー
    日本セミラボ株式会社
    日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。

    薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率(N,K値)波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。

    【測定可能な物理特性】
    ■厚さ光学屈折率
    ■屈折率の勾配と材料組成
    ■ドーパント濃度
  • 研究開発・インライン生産品質管理に最適!
    研究開発・インライン生産品質管理に最適!

基本情報研究開発・インライン生産品質管理に!【分光エリプソメーター】

【豊富な製品バリエーション】
○研究開発用途 ○大型パネル自動測定 ○ロールツーロール測定 ○FTIRオプション ○光学式細孔率 ○細孔分布測定 などあらゆる製品をご提案可能



【薄膜太陽電池向け分光エリプソメーター】
○アモルファスシリコン ○微結晶シリコン ○GIGS ○CdTe ○DSSC ○有機物等の、光学特性の測定が可能 ○ITO膜



【測定可能な物理特性】
○膜厚と光学屈折率(n,k) ○屈折率の勾配と材料組成



【アプリケーション】
○半導体 ○シリコン、有機、化合物半導体 ○太陽電池 ○有機EL ○LED ○ポリマー ○フラットパネルディスプレイ(FPD) ○医療、バイオ ○PETフィルム ○燃料電池 ○グラフェン



【仕様】
○波長範囲:190nm-2400nm ○測定スピード:全波長範囲 1秒~



【オプション】
○FTIR ○ポロシメーター ○マイクロスポット ○コンペンセーター ○自動マッピング・ステージ ○シート抵抗 ○反射率計 ○ラマン分光 ○透過率計

価格

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※波長範囲などの仕様によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期


※お気軽にお問い合わせください。

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

GES5Eシリーズ

用途/実績例

半導体、太陽電池、フラットパネルディスプレイに非常に多くの実績があります。

※無料カタログをご用意しております。
 ダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

よく使用される業種

化学、樹脂・プラスチック、電子部品・半導体、光学機器、試験・分析・測定、ソフトウェア、医薬品・バイオ、製造・加工受託、商社・卸売り、教育・研究機関

詳細情報研究開発・インライン生産品質管理に!【分光エリプソメーター】

比抵抗率・シート抵抗測定オプション

Eddy Currents(渦電流法)による比抵抗率・シート抵抗測定機能。非接触で精度良い測定が可能です。

反射率測定オプション

長寿命キセノンランプと2層構造の石英光ファイバーを使用。非接触で高精度の反射率測定が可能です。

ラマン分光オプション

ラマン分光によるリアルタイム・モニタリングと特性評価。
非接触で、材料の結晶度や組成が高精度で測定可能。

カタログ研究開発・インライン生産品質管理に!【分光エリプソメーター】

  • 分光エリプソメーターGES5Eは、薄膜、多層膜の膜厚、及び各層の屈折率(N,K値)波長分散を算出し。
    波長走査型/CCDマルチチャンネル型など、用途に応じて様々な分光システムの組み合わせが可能であり、赤外または可視光(UV)を使用した従来型の光学測定器では行えなかった電気特性の測定等も非破壊にて実現します。

    業界屈指の実績の中で研究開発用途から大型パネル自動測定、R2R測定、FTIRオプション、光学式細孔率、細孔分布測定まであらゆる製品をご提案可能です。

    ■薄膜太陽電池向け分光エリプソメーター
    アモルファスシリコン、微結晶シリコン、GIGS、CdTe、DSSC、有機物等の光学特性の測定が可能

取扱会社研究開発・インライン生産品質管理に!【分光エリプソメーター】

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■太陽電池測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供

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