『KSM-70-50Z』は、中空構造のXYZ機構を本体としたセミ・マニピュレーターです。
ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を
持たせており、Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、
精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
接続フランジがICF-152のタイプをの場合、接続フランジ上部に設置された
6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
【特長】
■超高真空領域まで使用出来る
■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用
■1回転当たりの移動量は各々0.5mm
■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な
チルト機構としても使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』
【仕様(抜粋)】
<KSM-70-50Z>
■移動距離
・Z軸:0~50mm
・X軸:±6.0mm
・Y軸:±6.0mm
<共通仕様>
■許容リーク量:≦1.33×10-11Pa・m3/sec
■許容加熱温度:≦200℃
■移動精度
・XY軸:0.01mm以下
・Z軸:0.05mm以下
■位置決め目盛
・XY軸:0.001mm以下
・Z軸:0.05mm以下
■上部接続フランジ:ICF-34FT
■下部接続フランジ:ICF-70FH
■真空シール稼働部:溶接ベローズSUS-316
■重量:9.0kg(50Z)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報 | 490,000円 |
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価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログセミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』
取扱企業セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』
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