特徴
本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。
オプションであるサンプル加熱/冷却機構または、モーター駆動機構などを組み合わせることにより、研究開発目的に適した試料等の処理や移動・操作を御提案いたします。
基本情報超高精度5軸マニピュレーター
特徴
本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。
オプションであるサンプル加熱/冷却機構または、モーター駆動機構などを組み合わせることにより、研究開発目的に適した試料等の処理や移動・操作を御提案いたします。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | (使用例) |
カタログ超高精度5軸マニピュレーター
取扱企業超高精度5軸マニピュレーター
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品(フランジ・継手類、他) 《PVD/CVD装置》 ◆有機EL材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機TFT開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置(MBE) (化合物半導体・窒化物・酸化物) ◆有機金属気相成長装置(CVD) 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置(FIM) ◆電子エネルギー分析システム(CMA) ◆TEMホルダー(加熱/低温) ◆UHVレーザー顕微鏡装置 ◆3次元アトムプローブ装置(3DAP)
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