ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にした理由はこちら
本装置は、機能性薄膜の開発を強力にバックアップする研究開発ツールです。
交互吸着膜という新しい液相薄膜成長技術に実現します。
交互吸着膜は経済産業省策定の「技術戦略マップ」の
ナノテクノロジー分野・薄膜形成技術のロードマップ上に
2009年初掲載され、最近、注目を集めています。
（経産省技術戦略マップ：http://www.meti.go.jp/policy/economy/gijutsu_kakushin/kenkyu_kaihatu/str-top.html）
この新しい成膜技術を体験してみませんか？
基本情報ナノフィルムメーカー
本装置は、水晶振動子による膜厚計測技術を融合し、製膜中の質量増加を常時モニターしてロボットアームの挙動をフィードバックすることでナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。
【特長】
・交互吸着法と水晶振動子による膜厚計測技術（フィードバック制御）とを融合し、ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。
・自由にヘテロ構造を設計。新たな電子デバイス、磁気デバイスの開発に威力を発揮します。
・モノマ（Ｒｕ錯体など）の累積も可能。有機ＥＬ素子の作製も行われています。
・無機材料での膜厚の作製も可能。有機材料との組み合わせで、オプティカルデバイスの開発が行われています。
・有機溶媒での薄膜作製にも対応しています。
■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■
＝＝＝＝＝お問い合わせお待ちしています＝＝＝＝＝
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝ |
カタログナノフィルムメーカー
取扱企業ナノフィルムメーカー
ナノフィルムメーカーへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
