ナノフィルムメーカー
ナノフィルムメーカー http://www.ipros.jp/data/products/tmp/322357/002/img/2010-01-21_205934.jpg 本装置は、水晶振動子による膜厚計測技術を融合し、製膜中の質量増加を常時モニターしてロボットアームの挙動をフィードバックすることでナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。 【特長】 ・交互吸着法と水晶振動子による膜厚計測技術(フィードバック制御)とを融合し、ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。 ・自由にヘテロ構造を設計。新たな電子デバイス、磁気デバイスの開発に威力を発揮します。 ・モノマ(Ru錯体など)の累積も可能。有機EL素子の作製も行われています。 ・無機材料での膜厚の作製も可能。有機材料との組み合わせで、オプティカルデバイスの開発が行われています。 ・有機溶媒での薄膜作製にも対応しています。 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ =====お問い合わせお待ちしています===== 株式会社SNT 製造・加工機械 > 加工機械 > その他加工機械 -
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    株式会社SNT
    本装置は、機能性薄膜の開発を強力にバックアップする研究開発ツールです。
    交互吸着膜という新しい液相薄膜成長技術に実現します。

    交互吸着膜は経済産業省策定の「技術戦略マップ」の
    ナノテクノロジー分野・薄膜形成技術のロードマップ上に
    2009年初掲載され、最近、注目を集めています。
    (経産省技術戦略マップ:http://www.meti.go.jp/policy/economy/gijutsu_kakushin/kenkyu_kaihatu/str-top.html)

    この新しい成膜技術を体験してみませんか?
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    ナノフィルムメーカーの製品画像です

基本情報ナノフィルムメーカー

本装置は、水晶振動子による膜厚計測技術を融合し、製膜中の質量増加を常時モニターしてロボットアームの挙動をフィードバックすることでナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。

【特長】

・交互吸着法と水晶振動子による膜厚計測技術(フィードバック制御)とを融合し、ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。

・自由にヘテロ構造を設計。新たな電子デバイス、磁気デバイスの開発に威力を発揮します。

・モノマ(Ru錯体など)の累積も可能。有機EL素子の作製も行われています。

・無機材料での膜厚の作製も可能。有機材料との組み合わせで、オプティカルデバイスの開発が行われています。

・有機溶媒での薄膜作製にも対応しています。

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カタログナノフィルムメーカー

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  • 本装置は、水晶振動子による膜厚計測技術を融合し、製膜中の質量増加を常時モニターしてロボットアームの挙動をフィードバックすることでナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。

    【特長】

    ・交互吸着法と水晶振動子による膜厚計測技術(フィードバック制御)とを融合し、ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。

    ・自由にヘテロ構造を設計。新たな電子デバイス、磁気デバイスの開発に威力を発揮します。

    ・モノマ(Ru錯体など)の累積も可能。有機EL素子の作製も行われています。

    ・無機材料での膜厚の作製も可能。有機材料との組み合わせで、オプティカルデバイスの開発が行われています。

    ・有機溶媒での薄膜作製にも対応しています。

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