高精度絶対圧真空計日本エム・ケー・エス

高精度絶対圧真空計

■F.S.レンジ：1.33×10<SUP>1</SUP>〜3.33×10<SUP>6</SUP>Pa

■精度：読み値の0.05〜0.12％

■有効数字：6桁

■45℃温度制御

基本情報高精度絶対圧真空計

MKSの製品は、半導体・液晶パネルを始めとする、先進技術を用いて製造される様々な製品の製造プロセスで活躍しています。

特に現在のハイテク電子製品に使われている半導体デバイスの製造に必要とされるプロセスを「Control/Analyze/Energize/Isolate（制御/分析/電源供給/配管部品設計）」する幅広いテクノロジーをお届けしています。

価格情報	-
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型番・ブランド名	AA06A
用途／実績例	半導体製造プロセスで培われた実績と経験は、液晶パネル・磁気ディスクや医療・バイオ製薬など幅広い市場で活かされています。

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取扱企業高精度絶対圧真空計

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。