隔膜式真空計（バラトロン真空計）日本エム・ケー・エス

基本情報隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計

バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。

センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。

150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。

特徴
●最小フルスケールレンジ：133×10E-2Pa　
●最大フルスケールレンジ：133×10E5Pa
●精度：読み値の0.50％
●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力（最大1.0A)
●外部から調整可能なリレー機能内蔵（オプション）

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	バラトロン真空計　６３１Ｂ
用途／実績例	・厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途・バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセス　など

お問い合わせ

取扱企業隔膜式真空計（バラトロン真空計）

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。