隔膜式真空計(バラトロン真空計)
隔膜式真空計(バラトロン真空計) http://www.ipros.jp/data/products/tmp/032514/005/img/mks-631-rgb 160120.jpg 150℃/200℃対応! バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。 特徴 ●最小フルスケールレンジ:133×10E-2Pa  ●最大フルスケールレンジ:133×10E5Pa ●精度:読み値の0.50% ●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力(最大1.0A) ●外部から調整可能なリレー機能内蔵(オプション) 日本エム・ケー・エス株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 バラトロン真空計 631B -
  • 150℃/200℃対応!バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
    日本エム・ケー・エス株式会社
    高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル
    コンパクトな一体型、省電力を実現
  • 隔膜式真空計(バラトロン真空計)の製品画像です
    隔膜式真空計(バラトロン真空計)の製品画像です

基本情報隔膜式真空計(バラトロン真空計)

150℃/200℃対応! バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計


バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。

センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。

150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチング、ナイトライドCVD、ALDなど、厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途の他、バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセスに最適です。

特徴
●最小フルスケールレンジ:133×10E-2Pa 
●最大フルスケールレンジ:133×10E5Pa
●精度:読み値の0.50%
●±15VDC入力電源のみで稼動、省電力(最大1.0A)
●外部から調整可能なリレー機能内蔵(オプション)

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

バラトロン真空計 631B

用途/実績例

・厳しい条件の半導体製造プロセス用真空計としての用途
・バクテリア増殖を防止する目的で蒸気を用いる、凍結乾燥装置、滅菌装置などのバイオ製薬プロセス など

よく使用される業種

電子部品・半導体、試験・分析・測定、医薬品・バイオ、教育・研究機関、その他

取扱会社隔膜式真空計(バラトロン真空計)

真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、RGA、プロセスモニター、FTIR、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、RF電源、DC電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェア、リークディテクタの製造・輸入・販売・サービス

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