真空ガス四重極分析計日本エム・ケー・エス

基本情報真空ガス四重極分析計

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。
これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。

使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。

【仕様】
◇マスレンジ：　1-100 / 1-200amu
◇分解能　　：　≦10％valley（マスレンジ内の同じ高さのピーク間）

【特長】
○低価格＆コンパクト１．９ｋｇ（コントローラ重量）
○簡単なインストールと、最少の保守メンテナンスでご利用できます。
○10Base-T のEthernetインターフェイスと組込型ウェブサーバーを内蔵し、
　ネット環境を利用したダイレクト操作を実現

※詳細は資料請求からお問い合わせください。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	e-Vision
用途／実績例	○海外工場の管理や、出張不在中の本社工場の管理制御 ○液晶、PV業界や、半導体の前処理工程の真空ガス管理 ○研究所の真空チャンバー操作管理　 ○勤務時間外トラブル対応　など

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取扱企業真空ガス四重極分析計

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。