株式会社ＭＴＫ洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

株式会社ＭＴＫより、LED・半導体・MEMS製造用『Wet処理装置』のご案内です。

【特徴】
○高プロセス性能（パーティクル数など）
○低価格
○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。
○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。
○2インチなど小口径にも対応します。

●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途／実績例	SiC,GaN,シリコン等の半導体、LED、MEMS、各種センサー

【半導体洗浄装置】 ●Si、SiC、GaN、GaAsなどのWet処理装置の製造・販売 ●メタルフリーなオゾン水生成機器の製造・販売【半導体材料】 ●6インチSiCウエハ（各種膜付、角基板も提供可能）、6インチSiCインゴットの販売 ●GaNウエハの販売(角基板も提供可能)

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