クリーン・テクノロジー株式会社 多段式HP-CP装置
- 最終更新日:2024-04-16 17:38:17.0
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【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却が可能
【特徴】
■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。
■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。
■プロキシミリティピン(近接ピン)は取り外しや、交換が可能です。
■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。
基本情報多段式HP-CP装置
〇装置概寸:(L)4000×(W)3600mm
基板サイズ:(W)2850×(L)3050対応時
その他、各世代に対応しております。
〇処理温度:【加熱】23℃→90℃〜150℃(Max240℃まで)
【冷却】150℃→23℃
〇精密温調:23℃±0.1℃
〇搬送方法:Robotにての受け取り、受け渡し
※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
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用途/実績例 | 【用途】 〇液晶用カラーフィルター 〇PDP等大型基板製作ライン |
取扱企業多段式HP-CP装置
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