デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラです
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ
【特長】
○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
(SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○コネクタ方式（横・上）選択可能
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L
○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
(SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○コネクタ方式（横・上）選択可能
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | MC-5000L |
| 用途／実績例 | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 |
カタログデバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L
取扱企業デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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