画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。
さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。
なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
基本情報電動アクチュエータ CMX （精密ステージ） [THK公式］
●大型ワークに対応
トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。
●超薄形・軽量
XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。
●中抜き構造
トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。
●高剛性・高精度
モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 精密ステージシリーズ CMX |
| 用途／実績例 | 詳細はお問合せください |
取扱企業電動アクチュエータ CMX （精密ステージ） [THK公式］
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