インライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター
インライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター http://www.ipros.jp/data/products/tmp/058266/001/img/image1.jpg 接液部は全てPFAです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命10年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力150℃×0.4MPa。 株式会社セラ 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > エッチング装置 ECE−S -
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基本情報インライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部は全てPFAです。
不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。
液流れの急変や停止に強い。
発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。
発熱体寿命10年以上。
コンパクトで場所をとりません。
熱や機械的衝撃に強く丈夫です。
運転温度・圧力150℃×0.4MPa。

価格

-

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

ECE−S

用途/実績例

半導体製造に関わる薬品の加熱用途

よく使用される業種

電子部品・半導体

カタログインライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

取扱会社インライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

株式会社セラ

化学工学の技術とフッ素樹脂の溶接技術をベースに薬液の加熱冷却装置やサーキュレーションユニットを手がけ、加えてユーザーからのオリジナル依頼品を設計、製造しています。 【主な商品】 薬液ヒーター・超純水ヒーター・薬液定温供給装置・薬液供給装置・ふっ素樹脂製熱交換器・ふっ素樹脂製槽,配管 PTFE/PFA製品・テフロンアスピレーター・ガス用ヒーター・シリンダヒーター

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