スプレー/パドル兼用小型スピン現像装置（デベロッパー) アクテス京三

高品質・低価格・省スペースを追求スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。
薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。
他サイズ、特注仕様もご相談下さい。

基本情報スプレー/パドル兼用小型スピン現像装置（デベロッパー)

6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。
プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。

価格情報	250万円からご用意しています。
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	ADE-3000
用途／実績例	半導体、電子部品、薬品メーカー等のホトリソ工程に使用されています。

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取扱企業スプレー/パドル兼用小型スピン現像装置（デベロッパー)

アクテス京三株式会社技術センター

1. 電子機器の開発設計及び委託開発・生産業務・各種信号制御装置・画像処理装置 2. 半導体製造装置の開発設計及び製造販売・オプトエレクトロニクス関連装置・半導体開発・製造装置・各種検査装置 3. 産業機器の開発設計及び製造販売・小型精密ブラスト装置・各種回転試験器 4. 医療関連機器の開発設計及び製造販売・カテーテルチューブ加工装置・カテーテルチューブ自動搬送システム