有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
空気でつかむ
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いたウエハ、液晶ガラス基板、PDP、セラミック、プリント基板、FPC基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
クリーン・搬送・制御
2009年7月 経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月 太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月 3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月 埼玉県より次…