株式会社スペクトラ・コープ
分光分析装置の設計・製作・販売を手掛けるスペクトラ・コープ
光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査(膜厚測定、プラズマモニターなど)をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発