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高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…
グラファイト部品にPBN(熱分解窒化ホウ素)、PG(熱分解グラファイト)、TaC(タンタルカーバイド)などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 1)高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 2)電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 3)高温のMOCVD用部品を保...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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実験炉・ヒーター_「PRODUCTS GUIDE_2022」
電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用 最新の高温基板…
◉「Mini-BENCH」超高温卓上型実験炉Max2000℃ ◉「Mini-BENCH-prism」セミオート式 超高温実験炉Max2000℃ ◉「Thermic Edge furnace-TE」セミオート式超高温卓上型実験炉Max2000℃ ◉「MiniLab-CF」超高温実験炉Max2900℃ ◉「Mini-Lab-WCF」超高温ウエハーアニール炉Max2000℃ ◉ SiC3立方晶...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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